坡莫合金，是mems磁性器件制程中一種必不可少的鐵磁性材料，也可用于屏蔽磁場的磁屏蔽，"卡脖子"技術(shù)之一。

　　一、什么是坡莫合金?

　　坡莫合金，又叫做透磁合金，是一種以鐵、鎳為主要成分的特殊合金。在芯片制程中，該合金的成分要求為：Ni含量80%，鐵含量20%。

　　二、什么是鐵磁性?

　　根據(jù)磁性類型分為鐵磁性、順磁性和抗磁性材料，而鐵磁性材料指的是在沒有外部磁場時可以保持磁性的材料。鐵磁性材料通常包括：鐵，鎳，鈷，鎵等。

　　三、坡莫合金的性質(zhì)?

　　1、高磁導(dǎo)率&低損耗：具有高磁導(dǎo)率(相對磁導(dǎo)率通常約為100,000)和低磁滯損耗，它能夠有效地導(dǎo)引和增強(qiáng)磁場，而且在循環(huán)磁化過程中損耗較低。

　　2、低矯頑力：矯頑力是指使磁性材料達(dá)到磁化飽和后，再使其退磁所需的最小磁場強(qiáng)度。低矯頑力的材料容易被磁化和退磁，它們對外部磁場的響應(yīng)十分靈敏。

　　3、接近零磁致伸縮：磁致伸縮是指材料在磁化過程中其尺寸或形狀發(fā)生變化的現(xiàn)象。一些材料在磁化時會微微膨脹或收縮，這種效應(yīng)被稱為磁致伸縮效應(yīng)。接近零磁致伸縮意味著材料在磁化過程中幾乎不會發(fā)生形狀或尺寸的變化。

　　4、顯著的各向異性磁阻：各向異性磁阻是指材料的電阻率隨磁場的方向而變化的性質(zhì)。這種特性在讀取磁性存儲數(shù)據(jù)以及在磁傳感器中非常有用，因為它們可以檢測磁場的方向和強(qiáng)度的變化。

　　四、良好的機(jī)械強(qiáng)度。

　　為什么要80%Ni,20%Fe?

　　當(dāng)鎳和鐵的比例為80:20時，合金通常表現(xiàn)為面心立方(FCC)晶體結(jié)構(gòu)。這種結(jié)構(gòu)的特點是高對稱性，使得材料具有良好的塑性和韌性，同時保持較高的磁導(dǎo)率和較低的磁滯損耗。

　　當(dāng)鐵含量升高時，晶體結(jié)構(gòu)逐漸由面心立方(FCC)轉(zhuǎn)化為體心立方(BCC)結(jié)構(gòu)，這種結(jié)構(gòu)通常導(dǎo)致磁性能的下降。

　　五、坡莫合金如何屏蔽磁場的?

　　坡莫合金屏蔽磁場的原理是是改變了穿過它的磁場線的路徑。當(dāng)磁場遇到坡莫合金時，磁場線會被重新引導(dǎo)，沿著坡莫材料走，而不是穿透材料，這使得磁場線繞過被屏蔽的區(qū)域，從而減少或消除該區(qū)域內(nèi)的磁場。